X線発生装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-132408
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320792
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】プラズマX線源からの飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置であり、プラズマの生成が短い時間間隔で長時間にわたる場合にも、X線の取り出し方向について不都合な飛散粒子の付着、堆積を低減して、その結果、長時間安定して使用できるX線発生装置を提供すること。【解決手段】減圧された真空容器443内の標的部材401に励起エネルギービーム411を照射してプラズマ402を形成させ、該プラズマ402からX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材401及び/又は前記プラズマ402から放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域412に隣接または近接する飛散粒子阻止部材422を設け、かつ、該立体角領域412を通過可能な可動部432を有する飛散粒子拡散・阻止部材433を設けたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成させ、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置であり、前記標的部材及び/又は前記プラズマから放出される飛散粒子を阻止するためにバッファガスを用いるX線発生装置において、前記X線を取り出す範囲に相当する立体角領域に隣接または近接する飛散粒子阻止部材を設け、かつ、該立体角領域を通過可能な可動部を有する飛散粒子拡散・阻止部材を設けたことを特徴とするX線発生装置。

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開平4-129198
X線発生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-174602 出願人：株式会社ニコン
X線装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-046288 出願人：株式会社ニコン

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