特許
J-GLOBAL ID：200903077749849159
成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162932
公開番号（公開出願番号）：特開平11-335849
出願日： 1998年05月27日
公開日（公表日）： 1999年12月07日
要約：
【要約】【課題】 生成物がシャワーヘッド自体に付着するのを防止して、メンテナンスを容易且つ迅速に行えるようにした成膜装置を提供する。【解決手段】 気密な成膜室15を構成する成膜容器14と、該成膜室内において基板Wを保持する基板保持台22と、該基板保持台に対向するノズル板27から原料ガスを搬送するシャワーヘッド26とを備えた成膜装置において、ノズル板の基板対向面を覆う防着板42が着脱自在に設けられている。
請求項（抜粋）：
気密な成膜室を構成する成膜容器と、該成膜室内において基板を保持する基板保持台と、該基板保持台に対向するノズル板から原料ガスを搬送するシャワーヘッドとを備えた成膜装置において、前記ノズル板の基板対向面を覆う防着板が着脱自在に設けられていることを特徴とする成膜装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 16/44 J
, C23C 16/44 D
, H01L 21/31 B
