特許
J-GLOBAL ID：200903077811644879
空間光変調器を使用する回折ヌルコレクタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
稲葉 良幸
, 大賀 眞司
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-257699
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145419
出願日： 2007年10月01日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】空間光変調器(SLM)を使用して(非球形)光学表面のヌルテストを実行するシステムおよび方法を提供する。【解決手段】システムは干渉計、光学素子、およびSLMを含む。干渉計は電磁放射を提供する。光学素子は電磁放射を調整して第一放射ビームおよび第二放射ビームを提供する。SLMは第一放射ビームの波面を成形して光学表面に対応する成形波面にする。成形波面は光学表面に入射しそれによって調整される。光学表面の形状は、光学表面によってマッピングされた成形波面と第二放射ビームとの干渉によって生じる干渉縞パターンに基づいて解析される。システムは、光学表面に対応するヌルコレクタ設計をSLMのための命令に変換する光学設計モジュールも含むことができる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
電磁放射を提供する干渉計と、
第一放射ビームおよび第二放射ビームを提供するために前記電磁放射を調整する光学素子と、
前記第一放射ビームの波面を成形して光学表面に対応する成形波面になるようにする空間光変調器(SLM)とを備え、前記成形波面が、前記光学表面に入射しそれによって調整され、そして、前記光学表面の形状が、前記光学表面によってマッピングされた前記成形波面と前記第二放射ビームとの干渉によって生じる干渉縞パターンに基づいて解析される、
光学表面をテストするシステム。
IPC (3件)：
G01B 9/02
, G02B 26/08
, G01B 11/24
G01B9/02
, G02B26/08 E
, G01B11/24 D
2F064AA09
, 2F064BB03
, 2F064BB05
, 2F064EE02
, 2F064EE04
, 2F064EE05
, 2F064FF01
, 2F064GG11
, 2F064GG12
, 2F064GG22
, 2F064GG49
, 2F064GG52
, 2F064HH03
, 2F064JJ06
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC21
, 2F065FF52
, 2F065GG04
, 2F065JJ03
, 2F065LL12
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065QQ23
, 2H141MA05
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MB63
, 2H141MC06
, 2H141MD02
, 2H141MD12
, 2H141MD20
, 2H141MD32
, 2H141ME01
, 2H141ME25
, 2H141MF02
, 2H141MF21
, 2H141MG10
, 2H141MZ03
, 2H141MZ06
