特許

J-GLOBAL ID：200903077962660272

高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置

発明者： 林 俊一 ,  鈴木 哲也 ,  佐伯 盛久 ,  酒井 誠 ,  藤井 正明
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  科学技術振興事業団 ,  株式会社日鐵テクノリサーチ
代理人 (2件)： 矢葺 知之 ,  津波古 繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276672
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119026
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】高温炉あるいは煙道内に存在する超微量ガス、高沸点ガス、不安定ガスの検出に優れた高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置が提供すること。【解決手段】試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻型電極形状であり、前記パルスバルブ噴射口の開口径をD(mm)、該パルスバルブ噴射口と前記イオン化領域の中心までの距離をX(mm)とすると、15≦X/D<≦50、であることを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻型電極形状であり、引き出し電極の正対する位置に同一形状の対向電極を配置し、前記引き出し電極の後方に円筒状のポテンシャルスイッチを配置し、さらにその後方に前記検出器を配置し、かつ、前記引き出し電極および対向電極の孔、前記検出器を同一直線上に配置し、さらに、前記パルスバルブ噴射口の開口径をD(mm)、該パルスバルブ噴射口と前記イオン化領域の中心までの距離をX(mm)とすると、 15≦X/D≦50 であることを特徴とする高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置。

IPC (3件)：

H01J49/10 ,  G01N27/62 ,  G01N27/64

FI (4件)：

H01J49/10 ,  G01N27/62 F ,  G01N27/62 V ,  G01N27/64 B

Fターム (3件)：

5C038GG07 ,  5C038GH04 ,  5C038GH13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• キャリヤ-ガス中のサンプル分子の検出方法と装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-305939   出願人：ドイチェフォルシュングスアンシュタルトフュアルフト-ウントラウムファールトエー.ファウ.
• 質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-291655   出願人：日本電子株式会社
• 高感度超音速分子ジェット多光子イオン化質量分析装置及びその高感度検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-139590   出願人：科学技術振興事業団
• 高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-207261   出願人：新日本製鐵株式会社, 株式会社日鐵テクノリサーチ, 科学技術振興事業団