特許

J-GLOBAL ID：200903077975536554

絞り弁位置を用いるクリーニング処理終点検出方法

発明者： 植田 裕之 ,  田辺 博隆 ,  大久保 誠 ,  チャンドラン, シャンカー ,  イエ, エリー
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-555275
公開番号（公開出願番号）：特表2002-518841
出願日： 1999年05月11日
公開日（公表日）： 2002年06月25日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、処理中弁の位置をモニタすることによって処理の終点を検出するための方法および装置を提供する。【解決手段】 一つの態様において、クリーニング処理はチャンバ内で実行され、またコントローラが弁位置をモニタして、クリーニング処理の完了後、安定した絞り弁位置に到達するのに要する弁位置のステップ回数中の減少した回数に対応する処理の終了点を決定する。

請求項（抜粋）：

チャンバの処理の終点を検出する方法であって、 a)チャンバのガスアウトレットを調整する弁の位置をモニタするステップを有する方法。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/44 J ,  H01J 37/32 ,  H01L 21/302 B

Fターム (39件)：

4K030BA20 ,  4K030DA06 ,  4K030EA01 ,  4K030JA05 ,  4K030JA10 ,  4K030KA39 ,  4K030LA15 ,  4K030LA18 ,  5F004AA15 ,  5F004BA03 ,  5F004BB18 ,  5F004BB28 ,  5F004CA02 ,  5F004CB01 ,  5F004DA00 ,  5F004DA17 ,  5F004DA22 ,  5F004DA23 ,  5F004DA25 ,  5F004DA26 ,  5F004DB03 ,  5F004DB04 ,  5F004DB05 ,  5F004DB06 ,  5F004DB10 ,  5F045AA03 ,  5F045AB32 ,  5F045AC11 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC17 ,  5F045BB15 ,  5F045DP03 ,  5F045EB06 ,  5F045EE06 ,  5F045EF05 ,  5F045EH18 ,  5F045GB06 ,  5F045HA13

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ドライエッチングの終点検知方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-001809   出願人：関西日本電気株式会社
• 半導体ウェハの高温処理系及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-311998   出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-291103   出願人：芝浦メカトロニクス株式会社