特許

J-GLOBAL ID：200903078030861862

有機電界発光膜蒸着用蒸着源

発明者： キム キボム ,  キム サンデ ,  ハン ユンス ,  タク ユンフン ,  キム ソクジュー
出願人/特許権者： エルジー エレクトロニクス インコーポレーテッド
代理人 (4件)： 萼 経夫 ,  宮崎 嘉夫 ,  小野塚 薫 ,  中村 壽夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-277602
公開番号（公開出願番号）：特開2004-095542
出願日： 2003年07月22日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】蒸着材料の消耗に伴う蒸着材料の厚さの減少によって発生する、加熱手段と蒸着材料表面との間の間隔変化を補償し得る有機電界発光膜形成のための蒸着源を提供する。【解決手段】蒸気放出開口101Aが形成され、加熱手段として作用する上部プレート101、側壁102、及び底部材103からなる容器と、上部プレート101を移動させる移動手段154とを含み、この移動手段154は、上部プレート101と蒸着材料20の表面との間の間隔に関する検知手段153の信号に応じて、上部プレート101と蒸着材料20表面との間の間隔が初期設定値を維持するように上部プレート101を下向きに移動させる。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

チャンバー内に設けられ、供給される電力によって加熱され、内部に収納された蒸着材料に熱を伝達し、内部で生成された蒸着材料の蒸気を噴射させて基板表面に蒸着膜を形成する有機電界発光膜蒸着用蒸着源において、 蒸気放出開口が形成された上部プレート、側壁、及び底部材からなる容器と、 前記容器内に収容された蒸着材料に熱を供給する加熱手段と、 前記加熱手段と前記蒸着材料表面との間の変化する間隔に関する検知手段の信号に応じて作動して前記加熱手段を移動させる移動手段と、を含み、 前記加熱手段は、前記加熱手段と前記蒸着材料表面との間の間隔が初期設定値を維持するように、前記移動手段によって下向きに移動することを特徴とする有機電界発光膜蒸着用蒸着源。

IPC (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 A ,  H05B33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029BD00 ,  4K029DB11 ,  4K029DB12

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 熱物理蒸着源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-058355   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 蒸着装置および蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-052507   出願人：カシオ計算機株式会社
• 薄膜堆積用分子線セル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-273156   出願人：株式会社エイコー・エンジニアリング
• 分子線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-304515   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (4件)

• 熱物理蒸着源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-058355   出願人：イーストマンコダックカンパニー
• 蒸着装置および蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-052507   出願人：カシオ計算機株式会社
• 薄膜堆積用分子線セル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-273156   出願人：株式会社エイコー・エンジニアリング
• 分子線源
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-304515   出願人：株式会社日立製作所