角速度検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉信興
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-180303
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009475
出願日： 1998年06月26日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：

【要約】【課題】角速度検出感度の向上。角速度センサの異常チェック,校正を行なう。これを自動化する。【解決手段】基板100に対して浮動支持され、対称な第1および第2振動体7,11/17,21;これらをx振動駆動する駆動電極5a,6a/5b,6b;振動体のy振動を検出する検出電極12,13/22,23;振動体にy方向の静電気力を与える助勢電極62,63/72,73;および、これらに静電気力用の電圧を印加する電圧回路64/74;を備える。各助勢電極は、振動体に反対方向の静電気力を与える対の電極(62,63)/(72,73)である。計測コントロ-ラTCRが、助勢電極に印加する助勢電圧Veを調整してx振幅を校正し、疑似コリオリ力を振動体11,21に与える電圧を助勢電極に印加して角速度検出信号を読み、計測回路を校正する。

請求項（抜粋）：

x,y方向に撓み性が高い浮動支持部材で基板に対して浮動支持され、x方向に並び、並びの中間点Oを通るy軸に関して対称な第1および第2振動体;第1および第2振動体の少くとも一方をx方向に振動駆動する励振手段;第1および第2振動体のy振動を検出する変位検出手段;および、第1および第2振動体の少くとも一方に、y方向の力を与えるy変位助勢手段;を備える角速度検出装置。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Fターム (9件)：

2F105BB02 , 2F105BB20 , 2F105CC04 , 2F105CC20 , 2F105CD03 , 2F105CD05 , 2F105CD11 , 2F105CD13 , 2F105CD20

引用特許：

審査官引用 (4件)

回転角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-306238 出願人：ローベルトボツシユゲゼルシヤフトミツトベシユレンクテルハフツング
角速度検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-274025 出願人：株式会社村田製作所
角速度センサの自己診断方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-045035 出願人：日産自動車株式会社

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