特許
J-GLOBAL ID:200903078080167240
光学式速度計、変位情報測定装置および搬送処理装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
山崎 宏
, 前田 厚司
, 仲倉 幸典
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-310681
公開番号(公開出願番号):特開2005-077337
出願日: 2003年09月02日
公開日(公表日): 2005年03月24日
要約:
【課題】 小型化および低消費電力化できると共に、被測定物の2次元の移動速度を高精度に検出できる光学式速度計を提供すること。【解決手段】 この光学式速度計は、発光素子30、回折格子20、2つの受光部31,32および信号処理回路60を備える。そして、発光素子30からの放射光を回折格子20にて3つの光束に分岐し、この分割されたそれぞれの光束の光軸を被測定物13上で重ね合わせて1つの検出点14を形成する。その後、この検出点14からの被測定物13の移動により周波数偏移が生じた拡散光を、2つの受光部31,32にて受光し、この受光部31,32から出力される受光信号を、信号処理回路60にて、信号処理して、被測定物13の2つの方向の移動速度を検出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
可干渉性の光を出射する発光素子と、
この発光素子からの放射光を少なくとも3つの光束に分岐する光分岐手段と、
この光分岐手段により分岐されたそれぞれの光束の光軸を被測定物上で重ね合わせて1つの検出点を形成する光学系と、
この検出点からの上記被測定物の移動により周波数偏移が生じた拡散光を受光する少なくとも2つの受光部と、
この少なくとも2つの受光部から出力される受光信号を信号処理して上記被測定物の少なくとも2つの方向の移動速度を検出する信号処理回路と
を備えることを特徴とする光学式速度計。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (14件):
2F065AA09
, 2F065DD02
, 2F065DD03
, 2F065FF33
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065HH10
, 2F065HH12
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065LL04
, 2F065LL33
, 2F065LL36
, 2F065LL42
引用特許:
出願人引用 (13件)
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特開平3-235060号公報
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特開平4-204104号公報
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変位情報測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-144609
出願人:キヤノン株式会社
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審査官引用 (6件)
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3次元レーザドップラ振動計
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-245125
出願人:グラフテック株式会社
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特開平4-027869
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特開昭62-043569
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