アーク蒸発源、真空蒸着装置及び真空蒸着方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：安田敏雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-157094
公開番号（公開出願番号）：特開2001-040467
出願日： 2000年05月26日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】アークスポットの挙動を制御するために永久磁石を設ける場合に、永久磁石が高温雰囲気下に晒されても、磁力が低下しない温度域に維持してアークスポット挙動制御性を持続する。また、陰極からの電子の飛行ルートを短くする。【解決手段】アーク放電の陰極となる蒸発物質3と、当該蒸発物質3を取り囲むように配置されて磁力によりアークスポットの挙動を制御する永久磁石7と、当該永久磁石7を冷却する冷却部とを備える。冷却部は内部に冷却媒体が供給される冷却室30を有し、この冷却室30は陰極3と絶縁され、アーク放電の陽極とされている。

請求項（抜粋）：

アーク放電の陰極となる蒸発物質(3)と、当該蒸発物質(3)を取り囲むように配置されて磁力によりアークスポットの挙動を制御する永久磁石(7)と、当該永久磁石(7)を冷却する冷却部と、を備えていることを特徴とするアーク蒸発源。

FI (2件)：

C23C 14/24 F , C23C 14/24 A

引用特許：

審査官引用 (7件)

アーク式蒸発源
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-207277 出願人：日新電機株式会社
特開平4-221064
特開平3-072068

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