特許
J-GLOBAL ID：200903078127321838

プラズマ処理装置の電極板洗浄方法及び装置

発明者：
山中 篤

山中 篤 について

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尾形 昌彦

尾形 昌彦 について

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福原 忠

福原 忠 について

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山口 博之

山口 博之 について

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高橋 晴美

高橋 晴美 について


出願人/特許権者：
濱田重工株式会社

濱田重工株式会社 について

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日鉄セミコンダクター株式会社

日鉄セミコンダクター株式会社 について


代理人 (1件)： 中前 富士男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-320842
公開番号（公開出願番号）：特開平10-150016
出願日： 1996年11月15日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】 多数の細孔を有する電極板のあらゆる箇所に付着しているエッチング反応生成物質を、容易かつ完全に除去することができるプラズマ処理装置の電極板洗浄装置及びその方法を提供する。【解決手段】 多数の細孔を有する電極板14を液体中に浸漬すると共に超音波振動を印加し、細孔内に液体を流入させることによって細孔内の空気を液体と置換する第1の超音波洗浄工程Aと、電極板14の表面に1MPa〜40MPaの高圧液体を噴射して電極板14を洗浄する高圧液体噴射洗浄工程Bと、高圧液体中に含まれ電極板14に付着する油脂分を除去するための脱脂処理工程Cと、電極板14を純水中に浸漬すると共に超音波振動を印加し、電極板14の表面に付着するパーティクルを除去するための第2の超音波洗浄工程Dとからなる。
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置に用いられ、表面から裏面に貫通する多数の細孔が設けられている平板状の電極板を洗浄するプラズマ処理装置の電極板洗浄方法であって、前記電極板の表面に1MPa〜40MPaの高圧液体を噴射し、前記電極板の表面と細孔内部を洗浄することを特徴とするプラズマ処理装置の電極板洗浄方法。
IPC (4件)：
H01L 21/304 341 ,  B08B 3/04 ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/3065
FI (4件)：
H01L 21/304 341 Z ,  B08B 3/04 Z ,  C23G 5/00 ,  H01L 21/302 N
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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