走査型露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332968
公開番号（公開出願番号）：特開平8-167568
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】本発明は走査型露光装置(10)において、原板(2)と被露光体(3)とを対向させて鉛直に支持し、正立かつ等倍の投影光学系(7)に対して走査露光する際に、簡易な構成でメンテナンス性やスループツトを向上する。【構成】原板(2)と被露光体(3)を一体支持する支持手段(6)を案内するガイド(11)を、露光で必要とする第1移動領域(A)よりも延長し、その延長した第2移動領域(B)のガイド(12)を連続して形成することにより、投影光学系(7)を待避した場所まで原板(2)及び被露光体(3)を移動させることができ、原板(2)や被露光体(3)のホルダ面、投影光学系(7)の清掃及び点検等を容易に行うことができ、メンテナンス性を向上し得る。

請求項（抜粋）：

原板と被露光体を対向させてほぼ鉛直に一体支持する支持手段と、所定の方向に沿つて配置されると共に前記原板の等倍かつ正立の像を前記被露光体に投影する複数の投影光学系と、該複数の投影光学系に対して、前記原板及び前記被露光体を前記所定の方向と前記投影光学系の光軸方向とに直交する方向に走査する走査手段とを有する走査型露光装置において、前記走査手段は、空気軸受及びガイドを備え、該ガイドは前記露光で必要とする第1移動領域と、該第1移動領域に連続する第2移動領域とを有して前記支持手段を案内することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/50 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (6件)

走査投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-204638 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭60-109228
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-116800 出願人：株式会社ニコン

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