特許
J-GLOBAL ID:200903078182647610

ディスク鏡面面取り装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-132711
公開番号(公開出願番号):特開2000-317791
出願日: 1999年05月13日
公開日(公表日): 2000年11月21日
要約:
【要約】【課題】 ディスクの内周縁と外周縁とを、効率よく、好適な鏡面に仕上げることができること。【解決手段】 中央に孔12が開口されたディスク10を筒状の端面部で吸着して保持し、自転することでディスク10を自転させる吸着盤と、ディスク10の外周縁16を研磨する外周研磨部材20と、ディスク10の内周縁14を外周縁16の研磨と同時に研磨すべく自転する内周研磨部材20と、外周研磨部材20と吸着盤とを、所定の軌道Pに沿って相対的に接離動させる第1接離動機構と、内周研磨部材20と吸着盤とを、第1接離動機構にかかる接離軌道の延長線上の軌道Pに沿って相対的に接離動させる第2接離動機構とを具備する。
請求項(抜粋):
中央に孔が開口されたディスクの内周縁と外周縁とを研磨して鏡面に面取りをするディスク鏡面面取り装置において、前記ディスクを筒状の端面部で吸着して、該ディスクの外周縁と内周縁とが露出するように保持し、自転することで前記ディスクを自転させる吸着盤と、前記ディスクの外周縁に摺接して、該外周縁を研磨する外周研磨部材と、前記ディスクの中央の孔に挿入され、該ディスクの内周縁に外周で摺接して、該内周縁を前記外周縁の研磨と同時に研磨すべく自転する内周研磨部材と、前記外周研磨部材に前記ディスクの外周縁を摺接させるべく、該外周研磨部材と前記吸着盤とを、所定の軌道に沿って相対的に接離動させる第1接離動機構と、前記内周研磨部材の外周を前記ディスクの内周縁に摺接させるべく、該内周研磨部材と前記吸着盤とを、前記第1接離動機構にかかる接離軌道の延長線上の軌道に沿って相対的に接離動させる第2接離動機構とを具備することを特徴とするディスク鏡面面取り装置。
Fターム (16件):
3C049AA06 ,  3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AA12 ,  3C049AA13 ,  3C049AA18 ,  3C049AB03 ,  3C049AB04 ,  3C049AB08 ,  3C049AC01 ,  3C049CA01 ,  3C049CA02 ,  3C049CA06 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03 ,  3C049CB05
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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