特許
J-GLOBAL ID：200903078349285155

ギャップ検出方法、ギャップ制御方法、及び装置

発明者：
今西 慎悟

今西 慎悟 について


出願人/特許権者：
ソニー株式会社

ソニー株式会社 について


代理人 (1件)： 野田 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-208164
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053303
出願日： 2002年07月17日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：
【課題】色収差の影響で臨界角以上で反射した戻り光が得られない場合でも近接場領域内での有効なギャップ検出、制御を行う。【解決手段】被測距対象物と光学系との間で光を干渉させ、その干渉縞の濃淡分布を利用して距離を検知する。ギャップ検出用ビームのPDアレイ17上での強度分布は、SIL10と原盤30の間が数波長程度離れている場合と近接場領域にある場合とで干渉縞が異なる。したがって、戻り光の検出位置を2つ設けた場合、ギャップの変化に対応する各検出位置A、Bの検出光強度(干渉光戻り光A、B)の変化は互いに周期の異なるものとなる。そこで、この干渉光戻り光A、Bの位相が一致するようになるまでレンズを駆動することで、SIL10と露光原盤30の距離を近接場領域にまで接近させることができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの距離測定光を光学系を通して被測距対象物に照射し、前記被測距対象物からの戻り光によって前記被測距対象物と光学系との間のギャップを検出するギャップ検出方法であって、 前記被測距対象物と光学系との間で光を干渉させ、その干渉縞の濃淡分布を測定し、その測定結果に基づいてギャップを検出する、 ことを特徴とするギャップ検出方法。
IPC (3件)：
G01B11/14 ,  G02B7/28 ,  G03F7/20
FI (4件)：
G01B11/14 G ,  G03F7/20 501 ,  G02B7/11 N ,  G02B7/11 L
Fターム (22件)：
2F065AA21 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC03 ,  2F065CC17 ,  2F065CC22 ,  2F065DD16 ,  2F065FF51 ,  2F065GG23 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ25 ,  2F065TT08 ,  2H051AA14 ,  2H051BA44 ,  2H051CB07 ,  2H051DA00 ,  2H051EB16 ,  2H097CA17 ,  2H097LA20
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (8件)
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