特許
J-GLOBAL ID:200903078401630230
固形物回収装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
井上 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-102902
公開番号(公開出願番号):特開2005-292189
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年10月20日
要約:
【課題】メンテナンスが容易に行えるとともに、処理効率の向上を図ることのできる固形物回収装置を提供する。【解決手段】現像処理後の処理液を貯留する貯留槽4と、この貯留槽4内の処理液が導入されるとともにその処理液を微細な固形物を含む濃縮液と上澄液とに分離する液体サイクロン9,11,14と、この液体サイクロンの第1の排出口から排出される濃縮液を回収する濃縮液回収タンク15と、液体サイクロンの第2の排出口から排出される上澄液を貯留槽に帰還させる帰還通路12とを備える構成とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
現像処理後の処理液を貯留する貯留槽と、この貯留槽内の処理液が導入されるとともにその処理液を微細な固形物を含む濃縮液と上澄液とに分離する液体サイクロンと、この液体サイクロンの第1の排出口から排出される濃縮液を回収する濃縮液回収タンクと、前記液体サイクロンの第2の排出口から排出される上澄液を前記貯留槽に帰還させる帰還通路とを備えることを特徴とする固形物回収装置。
IPC (5件):
G03F7/26
, B03B5/28
, B04C5/26
, B04C5/28
, G03F7/32
FI (5件):
G03F7/26
, B03B5/28 B
, B04C5/26
, B04C5/28
, G03F7/32
Fターム (16件):
2H096AA27
, 2H096AA28
, 2H096LA25
, 4D053AA03
, 4D053AB04
, 4D053BA04
, 4D053BA05
, 4D053BB02
, 4D053BC01
, 4D053BD04
, 4D053CA01
, 4D053CD13
, 4D071AA53
, 4D071CA01
, 4D071CA05
, 4D071DA20
引用特許: