特許
J-GLOBAL ID：200903078474633815
現像装置および現像方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200084
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044957
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 基板上の感光性膜に少量の現像液で均一な現像処理を行うことができる現像装置および現像方法を提供することである。【解決手段】 現像液吐出ノズル11は走査開始位置P1から走査を開始し、基板100の端縁に達した後、基板100の表面に均一に現像液を吐出しつつ基板100上を走査し、他方の端縁から基板外に達する。基板100上に均一に現像液を供給するために、現像液の吐出流量を一定とした場合には、基板上の初期の走査区間では走査速度を大きく設定し、残りの区間では走査速度を低く設定する。また、現像液吐出ノズル11の走査速度を一定とした場合には、初期の走査区間で現像液の吐出流量を漸増させ、残りの区間で吐出流量を一定に設定する。
請求項（抜粋）：
基板を水平姿勢で保持する基板保持手段と、現像液を吐出する現像液吐出ノズルと、前記基板保持手段に静止状態で保持された基板の一方端縁の外方から前記基板上を通過して前記基板の他方端縁の外方へ前記現像液吐出ノズルを移動させる移動手段と、前記移動手段により前記現像液吐出ノズルが前記基板上を通過する際に、前記現像液吐出ノズルから前記基板上への単位面積当たりの現像液の供給量を制御する制御手段とを備えたことを特徴とする現像装置。
IPC (6件)：
G03F 7/30 502
, B05C 5/02
, B05C 11/10
, B05D 1/26
, B05D 1/40
, H01L 21/027
G03F 7/30 502
, B05C 5/02
, B05C 11/10
, B05D 1/26 Z
, B05D 1/40 A
, H01L 21/30 569 C
, H01L 21/30 569 F
出願人引用 (9件)
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特開昭57-192955
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特開昭61-291064
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特開平2-141759
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審査官引用 (13件)
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