単結晶引上げ装置用高温部材

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梶良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211704
公開番号（公開出願番号）：特開平10-139581
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：

【要約】【課題】 C/C材製高温部材の本来有する長所(軽量かつ高強度という点)を生かしつつ、その短所である、SiC化反応に起因した「くわれ」現象はシリコン付着成長に起因した冷却後の変形現象が生じやすい点を解消し得る長寿命の高温部材を提供する点にある。【解決手段】 C/C材製の単結晶引上げ装置用高温部材の表面に存在する多数の微小な窪みの内面又は全体を埋めるようにガラス状炭素を被覆した。

請求項（抜粋）：

C/C材からなる単結晶引上げ装置用高温部材であって、該部材の表面の全体又は一部にガラス状炭素を被覆してなることを特徴とする単結晶引上げ装置用高温部材。

IPC (4件)：

C30B 15/10 , C04B 35/83 , C04B 35/52 , C30B 29/06 502

FI (4件)：

C30B 15/10 , C30B 29/06 502 B , C04B 35/52 E , C04B 35/52 G

引用特許：

審査官引用 (13件)

炭素繊維強化炭素複合材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-280116 出願人：電気化学工業株式会社
特開昭62-252394
シリコン結晶の製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイト部品およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-230586 出願人：ユーカーカーボンテクノロジーコーポレーション

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