ウェハ研磨装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-001429
公開番号（公開出願番号）：特開平9-267257
出願日： 1997年01月08日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：

【要約】【課題】ウェハの表面全体を均一に研磨することが困難であった。【解決手段】ウェハ支持体20の下部周縁にはガイドリング30が連結され、このガイドリング30の内側部分には環状板45が設置される。この環状板45の内側部分にはウェハ10が保持される。環状板45はウェハ10の実質的な直径を拡大し、研磨パッドからの加重を環状板45の周縁に集中させ、ウェハ10の研磨面に対する加重の集中を除去する。

請求項（抜粋）：

ウェハ支持体と、前記ウェハ支持体の下部に設置されたガイドリングと、前記ガイドリングの内側部分に設置され、ウェハを保持するとともに、前記ウェハとともに研磨パッドに圧接される環状板とを具備することを特徴とするウェハ研磨装置。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平2-262950
特公昭59-011423
板状部材の研磨装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-002049 出願人：住友金属工業株式会社

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