特許
J-GLOBAL ID：200903078623420978
密閉容器の蓋開閉システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：
岡部 正夫
, 岡部 讓
, 臼井 伸一
, 越智 隆夫
, 吉澤 弘司
, 木宮 直樹
, 齋藤 正巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-314191
公開番号（公開出願番号）：特開2007-180516
出願日： 2006年11月21日
公開日（公表日）： 2007年07月12日
要約：
【課題】FIMSシステムに固定されて開放状態にあるFOUP内部の酸化性ガスの分圧が時間の経過と共に増加することを防止する。【解決手段】FIMS内部における開口部10の上部にカーテンノズルを配置して、該開口面を閉鎖する不活性ガスからなるガスカーテンを形成すると同時に、FOUP内部に対しても不活性ガスを供給する。その際、FOUP内部へ供給される不活性ガスの供給方向を、ガスカーテンを形成するガス流れに対して対向する流れ成分を有さない方向とする。【選択図】図1C
請求項（抜粋）：
被収容物を内部に収容可能であってその一つの面に開口を有する略箱状の本体と、前記本体から分離可能であって前記開口を塞いで前記本体と共に密閉空間を形成する蓋と、を備える収容容器から前記蓋を取り外すことによって前記開口を開放して前記被収容物の挿脱を可能とする、前記蓋の開閉システムであって、
前記収容容器が載置される載置台と、
前記載置台に隣接して前記開口と正対する略矩形状の開口部と、
前記蓋を保持可能であると共に前記開口部を閉止可能であり、前記蓋を保持して前記開口部を開放することにより前記開口と前記開口部とを連通させるドアと、
前記開口部に関して前記載置台が配置される側と反対側において、前記略矩形状の開口部の一辺である第1の辺の外側に配置されて前記第1の辺の対辺である第2の辺に向かって不活性ガスを略線状に放出可能なカーテンノズルと、
前記カーテンノズルよりも前記収容容器内部側に配置されて前記カーテンノズルから放出される不活性ガス流に向かうガス流成分を有することなく前記収容容器内部に向かう方向に不活性ガスを噴出可能な不活性ガス供給ノズルと、を有することを特徴とする蓋開閉システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (6件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031NA09
, 5F031NA15
, 5F031PA02
, 5F031PA30
出願人引用 (2件)
-
基板処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-311822
出願人：大日本スクリーン製造株式会社
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処理システム
公報種別：公開公報
出願番号：特願2001-188551
出願人：東京エレクトロン株式会社
審査官引用 (5件)
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