特許
J-GLOBAL ID：200903078634852918

磁気センサ及び無接点スイッチ並びに位置検出機構

発明者：
糸魚川 貢一

糸魚川 貢一 について

, 
村木 均至

村木 均至 について


出願人/特許権者：
株式会社東海理化電機製作所

株式会社東海理化電機製作所 について


代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-347701
公開番号（公開出願番号）：特開2004-184090
出願日： 2002年11月29日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】一括形成可能でかつ良好な角度検出が可能なブリッジ構成の人工格子型巨大磁気抵抗素子を備えた磁気センサ、及びその磁気センサを備えた無接点スイッチ、及びその無接点スイッチを備えた位置検出機構、並びに上記磁気センサを備えた位置検出機構を提供する。【解決手段】磁気センサはパターン幅が6μmである人工格子型巨大磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4をシリコン基板15の主面15aに一括形成(一括成膜)することによりフルブリッジ回路を構成した。このように、各人工格子型巨大磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4のパターン幅を6μmとすることにより、各人工格子型巨大磁気抵抗素子R1,R2,R3,R4は、加えられる磁場(磁界)の角度の違いにより抵抗値がそれぞれ変化する。従って、この磁気センサによれば、一括形成したフルブリッジ回路により良好な角度検出ができる。【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
形状異方性を備えた人工格子型巨大磁気抵抗素子をブリッジ構成したブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に対して所定の離間距離を保ちつつ回転可能な磁石とを備えた磁気センサ。
IPC (2件)：
G01D5/245 ,  G01R33/09
FI (2件)：
G01D5/245 R ,  G01R33/06 R
Fターム (15件)：
2F077AA21 ,  2F077AA43 ,  2F077AA46 ,  2F077CC02 ,  2F077DD07 ,  2F077JJ10 ,  2F077JJ23 ,  2F077TT13 ,  2F077TT16 ,  2F077VV02 ,  2F077VV10 ,  2G017AA01 ,  2G017AA03 ,  2G017AD55 ,  2G017BA09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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