静電チャックおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-185065
公開番号（公開出願番号）：特開2004-031594
出願日： 2002年06月25日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】静電チャックにおいて、吸着力が不均一でウェハ表面の温度分布が不均一である。また、ウエハ外周部の吸着力が小さく、ウェハ外周部まで吸着固定ができないことから、載置面とウエハの間に冷却ガスを導入すると冷却ガスが漏れとの課題があった。【解決手段】板状セラミックス体2の表面にウェハをW保持する載置面3を備え、内部に吸着用電極4a,4bを備えるとともに、該吸着用電極4a,4bの外側に孤立した円環状の電極5を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板状セラミックス体の表面にウェハを保持する載置面を備え、内部に吸着用電極を備えるとともに、該吸着用電極の外側に孤立した円環状の電極を備えていることを特徴とする静電チャック。

IPC (2件)：

H01L21/68 , H02N13/00

FI (2件)：

H01L21/68 R , H02N13/00 D

Fターム (11件)：

5F031CA02 , 5F031HA02 , 5F031HA03 , 5F031HA17 , 5F031HA18 , 5F031HA38 , 5F031HA40 , 5F031MA28 , 5F031MA29 , 5F031MA32 , 5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (6件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-019344 出願人：京セラ株式会社
特開昭57-136396
特開昭61-070791

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