特許
J-GLOBAL ID:200903078692818665

シミ欠陥検出方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 特許業務法人樹之下知的財産事務所 ,  木下 實三 ,  中山 寛二 ,  石崎 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-002740
公開番号(公開出願番号):特開2008-171142
出願日: 2007年01月10日
公開日(公表日): 2008年07月24日
要約:
【課題】シミ欠陥を誤検出しないで高精度に検出できるシミ欠陥検出方法の提供。【解決手段】シミ欠陥強調フィルタを使用し、点対称位置でセットとされた2つの輝度比較画素の対象画素Oに対する輝度差の平均値に基いて、輝度比較画素S1〜S32で囲まれたシミ欠陥を強調する。ここで、輝度比較画素のセット毎に、セットの2つの輝度比較画素の輝度値が処理上の所定輝度範囲内であるか否かを第1〜第4条件により判断し、一方のみが所定輝度範囲内である場合は、その所定輝度範囲内である方の輝度値と対象画素Oの輝度値との差分をシミ欠陥強調のための強調算出値とする。ディスプレイの種類などで異なる検査対象領域の輝度範囲やシミの特性などに応じて、シミ欠陥強調処理上の輝度範囲を設定することにより、この輝度範囲から外れるシミ欠陥を選択的に確実に強調できるので、誤検出を防止できる。【選択図】図5
請求項(抜粋):
撮像した画像の各画素に対してシミ欠陥強調フィルタをかけてシミ欠陥を強調するシミ欠陥強調処理工程と、 前記シミ欠陥強調処理工程で得られた各画素のシミ欠陥強調値に基づいてシミ欠陥を検出するシミ欠陥検出工程とを有し、 前記シミ欠陥強調処理工程は、 撮像画像において選択された対象画素から所定距離離れてかつ対象画素の周囲に配置された各輝度比較画素を、前記対象画素を挟んで対称位置に配置された2つの輝度比較画素毎のセットに分け、 各セットそれぞれについて、当該セットの2つの輝度比較画素の一方の輝度値を第1輝度値として、他方の輝度値を第2輝度値として、それぞれ求め、 所定の検査対象領域の輝度に応じた所定輝度範囲の最小輝度が設定される最小設定値、および前記所定輝度範囲の最大輝度が設定される最大設定値それぞれと前記第1輝度値との比較結果、と、前記最小設定値および前記最大設定値それぞれと前記第2輝度値との比較結果、とに基づいて、 前記第1輝度値および前記第2輝度値の両方が前記所定輝度範囲内にあるときに成立する第1条件と、前記第1輝度値が前記所定輝度範囲内で且つ前記第2輝度値が前記所定輝度範囲外であるときに成立する第2条件と、前記第1輝度値が前記所定輝度範囲外で且つ前記第2輝度値が前記所定輝度範囲内であるときに成立する第3条件とを含む複数の条件を設定し、 前記第1条件が成立する場合には、前記対象画素の輝度値と前記第1輝度値および前記第2輝度値の平均値との差の値を強調算出値とし、 前記第2条件が成立する場合には、前記対象画素の輝度値と前記第1輝度値との差の値を前記強調算出値とし、 前記第3条件が成立する場合には、前記対象画素の輝度値と前記第2輝度値との差の値を前記強調算出値とし、 各セットの前記強調算出値のうち、最小値を対象画素のシミ欠陥強調値とするシミ欠陥強調フィルタを用いてシミ欠陥を強調し、 前記シミ欠陥検出工程は、前記各画素のシミ欠陥強調値を所定の閾値と比較してシミ欠陥候補の画素を抽出してシミ欠陥を検出することを特徴とするシミ欠陥検出方法。
IPC (5件):
G06T 5/20 ,  G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/13 ,  G06T 1/00
FI (5件):
G06T5/20 B ,  G01N21/88 J ,  G01M11/00 T ,  G02F1/13 101 ,  G06T1/00 305A
Fターム (28件):
2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051ED03 ,  2G051ED14 ,  2G051ED21 ,  2G086EE10 ,  2G086EE12 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CC02 ,  5B057CE06 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22
引用特許:
出願人引用 (4件)
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