チャックテーブル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333866
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164536
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】加工装置のチャックテーブルに被加工物を保持して所要の加工を行う際に、被加工物に凹凸や反り等があっても当該被加工物を安定的に保持することにより、被加工物がチャックテーブルからずれたり脱落したりするのを防止して高精度な加工を可能とする。【解決手段】被加工物を直接支持する支持面28を含む支持テーブル22と、支持テーブル22の支持面28に形成された複数の凹部29と、凹部29に配設され支持面28から吸着部が僅かに突出する吸着パッド30と、吸着パッド30に吸引作用を施す吸引源とを少なくとも含むチャックテーブルを構成し、吸引源から吸着パッド30に供給される吸引力によって被加工物を吸引することにより、被加工物の形状にならって保持できるようにする。

請求項（抜粋）：

加工装置に配設され、所要の作業を行う際に被加工物を保持するチャックテーブルであって、被加工物を直接支持する支持面を含む支持テーブルと、該支持テーブルの該支持面に形成された複数の凹部と、該凹部に配設され該支持面から吸着部が僅かに突出する吸着パッドと、該吸着パッドに吸引作用を施す吸引源とから少なくとも構成されるチャックテーブル。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B23Q 3/08

FI (2件)：

H01L 21/78 F , B23Q 3/08 A

Fターム (1件)：

3C016DA04

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-152512
特開平4-152512
基板固定治具及び基板固定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-152706 出願人：日本電気株式会社

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