特許
J-GLOBAL ID：200903078781562151
塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松阪 正弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-310670
公開番号（公開出願番号）：特開2009-135012
出願日： 2007年11月30日
公開日（公表日）： 2009年06月18日
要約：
【課題】複数の吐出口から吐出された流動性材料の乾燥速度の均一性を向上する。【解決手段】塗布ヘッド14の主走査方向の両側には蛇腹状の2つの拡散部材31がそれぞれ取り付けられる。また、塗布ヘッド14では複数の吐出口171が主走査方向に垂直な副走査方向に関して等ピッチにて配列され、基板9上に有機EL液が吐出される。塗布装置1では、ヘッド移動機構15による塗布ヘッド14の主走査方向への移動により、拡散部材31が塗布ヘッド14の進行方向の後側の空間にて伸展して当該空間に空気を送り込み、基板9上に吐出された直後の有機EL液の周囲の雰囲気を攪拌する気流を発生させる。これにより、複数の吐出口171から吐出された有機EL液の周囲の雰囲気において有機EL液の溶媒成分の濃度が均一化され、有機EL液の乾燥速度の均一性が向上される。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板に流動性材料を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する基板保持部と、
揮発性の溶媒および前記基板上に付与する材料を含む流動性材料を、前記基板に平行な副走査方向に関して等間隔にて配列された複数の吐出口から前記基板に向けて吐出する吐出機構と、
前記副走査方向に垂直かつ前記基板に平行な主走査方向に前記吐出機構を移動する主走査機構と、
前記吐出機構の前記主走査方向への移動が完了する毎に前記基板を前記吐出機構に対して前記副走査方向に相対的に移動する副走査機構と、
前記吐出機構に取り付けられており、前記主走査機構による前記吐出機構の前記主走査方向への移動により、前記基板上に吐出された直後の前記流動性材料の周囲に気流を発生する気流発生部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
H05B 33/10
, B05C 9/12
, B05C 5/00
, H01L 51/50
H05B33/10
, B05C9/12
, B05C5/00 101
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107CC33
, 3K107CC45
, 3K107GG08
, 3K107GG28
, 3K107GG36
, 4F041AA02
, 4F041AA05
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA51
, 4F042AA02
, 4F042AA06
, 4F042DB00
