特許
J-GLOBAL ID：200903078890087366

チャックテーブル機構および被加工物の保持方法

発明者：
関家 一馬

関家 一馬 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-204212
公開番号（公開出願番号）：特開2009-043771
出願日： 2007年08月06日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：
【課題】チャックテーブル上に吸引保持された被加工物を保持状態に維持することができるチャックテーブル機構および被加工物の保持方法を提供する。【解決手段】被加工物を収容する開口を備えた環状のフレームに装着されているダイシングテープの表面に貼着された被加工物をダイシングテープを介して吸引保持する被加工物保持部を上面に備えたチャックテーブルと、被加工物保持部に保持される被加工物をダイシングテープを介して支持する環状のフレームを固定するためのクランプを備えたチャックテーブル機構であって、チャックテーブルの上面には被加工物保持部を囲繞して形成されダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と環状のフレームの内周面との間の領域を吸引する保持するテープ保持部が設けられており、被加工物保持部と被加工物保持部が吸引手段に連通されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物を収容する開口を備えた環状のフレームに装着されているダイシングテープの表面に貼着された被加工物を該ダイシングテープを介して吸引保持する被加工物保持部を上面に備えたチャックテーブルと、該被加工物保持部に保持される被加工物を該ダイシングテープを介して支持する該環状のフレームを固定するためのクランプを備えたチャックテーブル機構であって、 該チャックテーブルの上面には該被加工物保持部を囲繞して形成され該ダイシングテープにおける被加工物が貼着された領域と該環状のフレームの内周面との間の領域を吸引する保持するテープ保持部が設けられており、該被加工物保持部と該被加工物保持部が吸引手段に連通されている、 ことを特徴とするチャックテーブル機構。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 N
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特開昭63-174841号公報
審査官引用 (7件)
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