特許
J-GLOBAL ID：200903078913551529
走査型電子顕微鏡の試料像表示方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323128
公開番号（公開出願番号）：特開平6-176731
出願日： 1992年12月02日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】【目的】 電子ビームの照射方向から見えない試料部分の試料像を顕在化し、試料像から得られる知見を広く・深くすることができる走査型電子顕微鏡の試料像表示方法を提供する。【構成】 半導体ウェハの製造工程における試料構造の観察において、試料1に対して走査する電子ビーム2aが照射され、この電子ビーム2aと試料1との相互作用の結果生じる2次電子3,3aを像信号として試料像が形成されるようになっている。この場合に、従来に比べて極めて高速の電子ビーム2aが用いられ、通常の2次電子3とともに試料1の内部で散乱された反射電子の作る2次電子3aの信号がそのまま用いられ、電子ビーム2aの照射方向から見えている試料部分の試料像に、電子ビーム2aの照射方向から見えない試料部分の試料像が重ねて表示される表示方法となっている。
請求項（抜粋）：
試料に対して走査する電子ビームを照射し、該電子ビームと前記試料との相互作用の結果生じる2次電子を像信号として試料像を形成する走査型電子顕微鏡であって、前記電子ビームの照射方向から見えている試料部分の試料像と、前記電子ビームの照射方向から見えない試料部分の試料像とを重ねて表示することを特徴とする走査型電子顕微鏡の試料像表示方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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