特許

J-GLOBAL ID：200903078935265821

ガイガーモード・アバランシェ・フォトダイオード

発明者： アガルヴァル プラバート ,  ソンスキー ジャン ,  カウピネン ラッセ ユハナ
出願人/特許権者： コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
代理人 (3件)： 津軽 進 ,  宮崎 昭彦 ,  笛田 秀仙
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-553439
公開番号（公開出願番号）：特表2009-525619
出願日： 2007年01月17日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：

シリコン・オン・インシュレータ・ウェハと基板搬送処理とを用いて、アバランシェモードフォトダイオードアレイ102が製造される。アレイは、複数のフォトダイオード100を含む。そのフォトダイオード100は、電気的な絶縁層206、空乏領域204、並びに第1のドープ領域208及び第2のドープ領域210を含む。相互接続層212は、フォトダイオードに対する電気的接続を提供する電極214,216を含む。フォトダイオードアレイ102は、ハンドルウェハ217により運搬される。

請求項（抜粋）：

半導体空乏領域と、 陽極と、 陰極とを有するアバランシェ・フォトダイオードであって、 荷電キャリアを生成するよう、可視スペクトルの青色端部における波長を持つ入射光子が、前記空乏領域において吸収され、前記フォトダイオードにおけるアバランシェ電流を生成するよう、前記荷電キャリアは、前記空乏領域において、衝撃イオン化を行う、アバランシェ・フォトダイオード。

IPC (1件)：

H01L 31/107

FI (1件)：

H01L31/10 B

Fターム (11件)：

5F049MA07 ,  5F049MB03 ,  5F049NA01 ,  5F049NB05 ,  5F049NB10 ,  5F049PA10 ,  5F049QA03 ,  5F049QA06 ,  5F049RA04 ,  5F049SS03 ,  5F049WA07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 紫外線検出用シリコンアバランシェフォトダイオード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-273709   出願人：株式会社ニコン
• 半導体集積回路装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-153722   出願人：セイコー電子工業株式会社
• 光検出器回路
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2004-520807   出願人：キネティックリミテッド