特許
J-GLOBAL ID：200903078964248391
回路パターン検査方法および検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安藤 淳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-274275
公開番号（公開出願番号）：特開2004-109018
出願日： 2002年09月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：
【課題】回路パターンの不良の有無を光量変動に影響されることなく精度良く検査でき、また不良部分がどのような不良項目に該当するのかも識別することができる高い検査精度をもつ回路パターンの検査方法およびその装置を提供する。【解決手段】検査対象となる回路パターンUの画像をカラー撮像手段4で撮像し、その撮像した画像内の特定の検査対象領域Fに含まれる各画素について、R,G,Bごとに濃淡値のヒストグラムを求め、これらのヒストグラムからR,G,Bごとの基準値を設定し、これらの基準値と検査対象領域F内の各画素におけるR,G,Bの濃淡値とから当該画素の色空間距離D2を求め、その色空間距離D2と予め設定したしきい値との大小を比較することにより当該画素の位置における良否を判定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
検査対象となる回路パターンを照明しつつ、その回路パターンの画像をカラー撮像手段で撮像し、その撮像した画像内の特定の検査対象領域に含まれる各画素について、R,G,Bごとに濃淡値のヒストグラムを求め、これらのヒストグラムからR,G,Bごとの基準値を設定し、これらの基準値と前記検査対象領域内の各画素におけるR,G,Bの濃淡値とから当該画素の色空間距離を求め、その色空間距離と予め設定したしきい値との大小を比較することにより当該画素の位置における良否を判定することを特徴とする回路パターン検査方法。
IPC (3件)：
G01N21/956
, G01J3/46
, H05K3/00
G01N21/956 B
, G01J3/46 Z
, H05K3/00 Q
2G020AA08
, 2G020DA05
, 2G020DA22
, 2G020DA31
, 2G020DA34
, 2G020DA52
, 2G051AA65
, 2G051AB07
, 2G051CA04
, 2G051DA07
, 2G051EA17
, 2G051EB01
, 2G051EC02
, 2G051EC03
