特許
J-GLOBAL ID：200903078978973200

走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法

発明者：
北島 周

北島 周 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-345939
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149117
出願日： 2001年11月12日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：
【要約】【課題】 プローブまたは試料が円弧状に走査されることに起因するエラーの影響を回避できるようにする走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法を提供すること。【解決手段】 X軸駆動信号発生部10は、X軸駆動信号14を発生し、X軸駆動用ボイスコイルモータ1に出力してスキャナのX軸を駆動するとともにΔZ算出部13にも送る。ΔZ算出部13は、X軸駆動信号14を受け取って現在の走査位置Xを求め、このXと長さ値R記憶部12に記憶された駆動体部4のZ軸方向の長さ値Rとから補正パラメータΔZを求めて、Z軸駆動信号発生部11に送る。Z軸駆動信号発生部11は、受け取ったΔZを用いて補正を行い、補正されたZ軸駆動信号15をZ軸駆動用ボイスコイルモータ3に出力してスキャナのZ軸を駆動する。
請求項（抜粋）：
プローブ-試料間に生じる原子間力等の物理量を検出する手段と、プローブと試料の相対位置を三次元的に変位させるスキャナと、プローブ-試料間の距離を制御する手段と、これら全体を統括制御する手段を有する走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法において、スキャナのZ軸方向の長さ値および現在の走査位置を示す値とから補正パラメータを求め、それを用いてスキャナのZ軸の駆動量を補正することを特徴とする、走査型プローブ顕微鏡のスキャナ駆動方法。
IPC (2件)：
G01N 13/10 ,  G01B 21/30
FI (2件)：
G01N 13/10 A ,  G01B 21/30
Fターム (12件)：
2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069EE10 ,  2F069EE22 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ05 ,  2F069LL03 ,  2F069MM33
引用特許：
審査官引用 (4件)
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