有機半導体化合物の単結晶薄膜の作製方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：飯田敏三 , 佐々木渉 , 宮前尚祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-216491
公開番号（公開出願番号）：特開2009-078963
出願日： 2008年08月26日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

【課題】有機半導体化合物の単結晶薄膜を大面積かつ均一に作製する方法、並びにその方法によって作製された有機半導体化合物の単結晶薄膜を提供する。【解決手段】誘電率が4.5以上でありかつ有機半導体化合物6が可溶である有機溶媒を、基板2上に塗布して液膜9を形成する工程、有機溶媒液膜9に有機半導体化合物6を供給し溶解させる工程、および有機溶媒中で有機半導体化合物6を結晶化させる工程を含む、有機半導体化合物6の単結晶薄膜の作製方法。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

誘電率が4.5以上でありかつ有機半導体化合物が可溶である有機溶媒を、基板上に塗布して液膜を形成する工程、前記有機溶媒液膜に前記有機半導体化合物を供給し溶解させる工程、および前記有機溶媒中で前記有機半導体化合物を結晶化させる工程を含むことを特徴とする有機半導体化合物の単結晶薄膜の作製方法。

IPC (7件)：

C30B 29/58 , C30B 7/08 , H01L 21/368 , H01L 29/786 , H01L 51/05 , H01L 51/30 , H01L 51/40

FI (7件)：

C30B29/58 , C30B7/08 , H01L21/368 Z , H01L29/78 618B , H01L29/28 100A , H01L29/28 250F , H01L29/28 310J

Fターム (22件)：

4G077AA03 , 4G077BF04 , 4G077CB01 , 4G077FJ06 , 4G077HA02 , 4G077HA06 , 4G077HA12 , 5F053AA50 , 5F053DD19 , 5F053FF01 , 5F053GG01 , 5F110AA01 , 5F110AA28 , 5F110CC03 , 5F110CC05 , 5F110FF01 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110GG05 , 5F110GG12 , 5F110GG24 , 5F110GG25

引用特許：

出願人引用 (1件)

結晶性薄膜の作製方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-093462 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

審査官引用 (3件)

有機半導体の結晶の製造方法及び有機半導体の結晶
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-018921 出願人：日本放送協会
有機半導体薄膜の形成方法及び有機薄膜トランジスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-314239 出願人：コニカミノルタホールディングス株式会社
成膜方法、光学素子、半導体素子および電子機器、電気光学装置の製造方法、カラーフィルターの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-056967 出願人：セイコーエプソン株式会社

引用文献：

審査官引用 (2件)

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