被載置体の位置決め機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小原肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289260
公開番号（公開出願番号）：特開平9-107019
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】カセット等ウェハキャリアの被載置体を載置面上の載置位置に正確に位置決めできると共に、載置姿勢の不正や載置面上を他物体が横切ることがあっても、被載置体のみを確実に検出し、正しい姿勢で正確な位置決めがされたことを認識できる位置決め桟構、また被載置体の底面に凸部を設け、底面を肉薄にして重量増を抑え、かつ底面の突起を載置状態の検出に用いることで被載置体の高さを抑え、高密度収納保管を可能にする位置決め桟構を提供する。【解決手段】カセット11の下面放射線上に配設された略三角柱状の3個の突起13と、各突起に対応して載置面12上に配設され、かつ各突起と2箇所で点接触して係合する一対の半球状突起14A,14Bからなる2面接触型カップリング部材14とを備え、さらに各2面接触型部材にそれぞれ係合した突起13を検出するセンサ棒15(被載置体検出手段)を載置面下側に設けた。

請求項（抜粋）：

被載置体を載置面の所定位置に位置決めする位置決め機構において、上記位置決め機構は、上記被載置体の下面に一直線上にないように配設された少なくとも3個の突起と、これらの各突起に対応して上記載置面上に配設され且つそれぞれの突起と2箇所で点接触して係合する2面接触型カップリング部材とを備えたことを特徴とする被載置体の位置決め機構。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (3件)：

H01L 21/68 G , H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

引用特許：

審査官引用 (6件)

自動姿勢変更装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-018028 出願人：日立テクノエンジニアリング株式会社
対向する被加工物間の相互位置決め方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-013285 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
特開平1-112624

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