特許
J-GLOBAL ID：200903079470787334

振動検出器

発明者：
吉田 勇作

吉田 勇作 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (3件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-004370
公開番号（公開出願番号）：特開2007-187494
出願日： 2006年01月12日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】コストアップすることなく、ノイズを低減し、周波数特性を向上する。【解決手段】弾性部22によって変位自在に支持された振動子21と、該振動子21と対面する位置に固定された固定電極12、32とを備え、前記振動子21と固定電極12、32とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかを検出する振動検出器において、前記固定電極12、32の中央部12c、32cにおける前記振動子21とのギャップd0を、周辺部より大とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
弾性部によって変位自在に支持された振動子と、該振動子と対面する位置に固定された固定電極とを備え、前記振動子と固定電極とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかを検出する振動検出器において、 前記固定電極の中央部における前記振動子とのギャップを、周辺部より大としたことを特徴とする振動検出器。
IPC (4件)：
G01H 11/06 ,  G01P 15/125 ,  H01L 29/84 ,  G01P 3/42
FI (4件)：
G01H11/06 ,  G01P15/125 Z ,  H01L29/84 Z ,  G01P3/42 Z
Fターム (18件)：
2G064AA14 ,  2G064AB01 ,  2G064AB02 ,  2G064AB19 ,  2G064BA02 ,  2G064BA07 ,  2G064BA08 ,  2G064BD05 ,  2G064BD25 ,  2G064BD47 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112EA02 ,  4M112EA13 ,  4M112FA20
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM