特許
J-GLOBAL ID：200903062621140346
物理量検出器及び物理量検出器の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
荒船 博司
, 荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-167040
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012326
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】より高精度に物理量を検出できる物理量検出器を提供する。【解決手段】弾性部22によって変位自在に支持された可動極板21と、可動極板21と対面する位置に固定された少なくとも1つの固定極板12と、を備え、可動極板21と固定極板12とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて可動極板21を変位せしめる物理量を検出する物理量検出器100に於いて、可動極板21の周縁を平面視において円形に形成し、弾性部22は当該円形に形成した周縁の接線方向に配設された弾性支持部材221により構成し、この弾性支持部材を可動極板の表面よりも窪んだ位置に配置し、可動極板と弾性支持部材の表面に、固定極板への張り付きを防止する防着材21a、21bを設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
弾性部によって変位自在に支持された可動極板と、前記可動極板と対面する位置に固定された固定極板と、を備え、前記可動極板と前記固定極板とで形成されるキャパシタの静電容量に基づいて被測定体の変位、速度、加速度の何れかの物理量を検出する物理量検出器において、
前記可動極板は、平面視において略円形に形成されており、
前記弾性部は、当該略円形に形成された可動極板の接線方向に複数配設された梁状の弾性支持部材を含んで構成され、
前記弾性支持部材は、前記可動極板の表面よりも窪んだ位置に配設され、
前記可動極板及び前記弾性支持部材の表面には、前記固定極板への張り付きを防止する防着材が設けられていることを特徴とする物理量検出器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA24
, 4M112CA36
, 4M112DA01
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA08
, 4M112DA09
, 4M112DA15
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112EA13
, 4M112FA01
, 4M112FA07
, 4M112FA09
, 4M112FA20
, 4M112GA01
