特許
J-GLOBAL ID：200903079520974491
平板マイクロレンズアレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大野 精市
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052452
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248905
出願日： 1998年03月04日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 イオン交換法による平板マイクロレンズアレイの製造方法において、イオン交換による基板の反りを低減するために、煩雑な工程を付加することなく、前記基板のレンズ等形成面の反対側面におけるイオン交換層の深さを制限でき、反りの少ない平板マイクロレンズアレイを安価に作製する製法を提供する。【解決手段】 平板マイクロレンズアレイに用いるガラス基板として、例えばフロート法によるガラスをそのまま用いることにより、そのボトム面の錫の含有する領域のイオン交換阻害効果を利用して、ボトム面のスラブ状のイオン交換層の深さ(厚み)を小さくしておき、さらに少なくとも錫含有層を除去する。
請求項（抜粋）：
1価のアルカリイオンを含むガラス基板の表面に、イオン交換法によりその断面が略半円状の屈折率分布を有するレンズ領域を複数形成した平板マイクロレンズアレイの製造方法において、前記ガラス基板は、一方の主表面に錫を含有する層を有し、他方の主表面にイオンの透過を阻害するマスク膜を形成し、さらに該マスク膜に所定のパターンをフォトリソ法により形成し、続いて前記アルカリイオンよりイオン半径の大きなイオンを含む溶融塩中に、前記基板を浸漬してイオン交換処理を行い、前記イオン交換終了後に少なくとも前記錫含有層を除去することを特徴とする平板マイクロレンズアレイの製造方法。
引用特許：
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