オゾン水製造装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内山充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112832
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302413
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】電子材料のウェット洗浄工程などにおいて、オゾン水を長距離送給しても、送給中におけるオゾン濃度の低下が少ないオゾン水を製造することができるオゾン水製造装置を提供する。【解決手段】紫外線照射装置を備えた超純水製造装置と、該超純水製造装置で製造された超純水にオゾンを溶解するオゾン溶解装置とを有するオゾン水製造装置であって、紫外線照射装置の上流側又は下流側において水中の有機体炭素(TOC)を測定し、有機体炭素の量に応じて紫外線照射装置の紫外線照射量を調整する紫外線照射量調整装置を設けてなることを特徴とするオゾン水製造装置。

請求項（抜粋）：

紫外線照射装置を備えた超純水製造装置と、該超純水製造装置で製造された超純水にオゾンを溶解するオゾン溶解装置とを有するオゾン水製造装置であって、紫外線照射装置の上流側又は下流側において水中の有機体炭素(TOC)を測定し、有機体炭素の量に応じて紫外線照射装置の紫外線照射量を調整する紫外線照射量調整装置を設けてなることを特徴とするオゾン水製造装置。

IPC (3件)：

C01B 13/10 , B01F 1/00 , H01L 21/304 648

FI (3件)：

C01B 13/10 D , B01F 1/00 A , H01L 21/304 648 K

Fターム (4件)：

4G035AA01 , 4G035AE13 , 4G042CA03 , 4G042CE01

引用特許：

出願人引用 (5件)

オゾン水製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-188539 出願人：オルガノ株式会社
紫外線分解装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000330 出願人：オルガノ株式会社
超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-150890 出願人：栗田工業株式会社

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審査官引用 (5件)

純水供給システム及び洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-264545 出願人：株式会社フロンテック, オルガノ株式会社, 大見忠弘
超純水製造装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-279434 出願人：栗田工業株式会社
オゾン水製造方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-188539 出願人：オルガノ株式会社

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