特許
J-GLOBAL ID:200903081563472885
超純水製造装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-279434
公開番号(公開出願番号):特開平10-123118
出願日: 1996年10月22日
公開日(公表日): 1998年05月15日
要約:
【要約】【課題】 UV酸化装置とイオン交換塔とを備える超純水製造装置において、流入水のTOC濃度に対して、UVを過不足なく照射して、TOCを確実に酸化分解除去すると共に、DOの増加を防止し、低TOC,低DOの超純水を安定に製造する。【解決手段】 イオン交換塔2の出口水のDO量;UV酸化装置1の入口水のDO量及びイオン交換塔2の出口水のDO量;或いはUV酸化装置1の入口水のTOC濃度を測定し、この測定値に基いてUV酸化装置1のUV照射量を制御する。【効果】 過剰のUVを照射することによるDOの増加を防止して、低TOC,低DOの超純水を安定に製造することが可能となる。
請求項(抜粋):
紫外線酸化装置とその後段のイオン交換塔とを備えてなる超純水製造装置において、該イオン交換塔の出口水の溶存酸素量を測定し、この測定結果に基いて該紫外線酸化装置の紫外線照射量を制御することを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件):
G01N 33/18
, C02F 1/32
, C02F 1/42
FI (4件):
G01N 33/18 B
, G01N 33/18 D
, C02F 1/32
, C02F 1/42 A
引用特許:
出願人引用 (9件)
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紫外線分解装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-000330
出願人:オルガノ株式会社
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特開平1-284385
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超純水の製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-301993
出願人:日本錬水株式会社
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特許第2666340号
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特公平6-071594
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超純水の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-187660
出願人:日立プラント建設株式会社
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一次純水からの超々純水の製造方法及び装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-224544
出願人:荏原インフィルコ株式会社, 株式会社荏原総合研究所, 株式会社荏原製作所
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純水の製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-204187
出願人:直江津電子工業株式会社, 信越半導体株式会社, 千代田工販株式会社
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焦点距離及びアスペクト比の自動設定カメラ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-221046
出願人:富士写真フイルム株式会社
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審査官引用 (4件)
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紫外線分解装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-000330
出願人:オルガノ株式会社
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特開平1-284385
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超純水の製造法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-301993
出願人:日本錬水株式会社
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