特許
J-GLOBAL ID：200903081563472885
超純水製造装置
出願人/特許権者：
栗田工業株式会社
栗田工業株式会社 について
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-279434
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123118
出願日： 1996年10月22日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 UV酸化装置とイオン交換塔とを備える超純水製造装置において、流入水のTOC濃度に対して、UVを過不足なく照射して、TOCを確実に酸化分解除去すると共に、DOの増加を防止し、低TOC,低DOの超純水を安定に製造する。【解決手段】 イオン交換塔2の出口水のDO量;UV酸化装置1の入口水のDO量及びイオン交換塔2の出口水のDO量;或いはUV酸化装置1の入口水のTOC濃度を測定し、この測定値に基いてUV酸化装置1のUV照射量を制御する。【効果】 過剰のUVを照射することによるDOの増加を防止して、低TOC,低DOの超純水を安定に製造することが可能となる。
請求項（抜粋）：
紫外線酸化装置とその後段のイオン交換塔とを備えてなる超純水製造装置において、該イオン交換塔の出口水の溶存酸素量を測定し、この測定結果に基いて該紫外線酸化装置の紫外線照射量を制御することを特徴とする超純水製造装置。
IPC (3件)：
FI (4件)：
引用特許：
Copyright (c) 2009 Japan Science and Technology Agency. All Rights Reserved