特許
J-GLOBAL ID:200903079593182496
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-323984
公開番号(公開出願番号):特開2007-133032
出願日: 2005年11月08日
公開日(公表日): 2007年05月31日
要約:
【課題】 良好なアルカリ現像性と、硬化物が優れた弾性回復特性を有する感光性樹脂組成物およびフォトスペーサの提供をする。【解決手段】カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー、多官能(メタ)アクリレートモノマー、並びに光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、親水性ポリマーが下記の全てを満たすポリマーであるアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物である。(1)不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物とを反応させて得られるポリマーである。(2)100〜500mgKOH/gの弱酸価を有する。(3)2〜9mmol/gの(メタ)アクリロイル基濃度を有する。(4)多官能(メタ)アクリレートモノマーとの溶解度パラメーターの差が-1〜1である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
カルボキシル基及び(メタ)アクリロイル基を有する親水性ポリマー(A)、多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)、並びに光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物であって、親水性ポリマー(A)が下記の(1)〜(4)の全てを満たすポリマーであることを特徴とするアルカリ現像可能な感光性樹脂組成物(Q)。
(1)不飽和多塩基酸無水物を必須構成単量体とする共重合体(D)と、1分子中に水酸基、1級アミノ基および2級アミノ基から選ばれる少なくとも1種の官能基並びに(メタ)アクリロイル基を有する化合物(e)とを反応させて得られるポリマーである。
(2)100〜500mgKOH/gの弱酸価を有する。
(3)2〜9mmol/gの(メタ)アクリロイル基濃度を有する。
(4)多官能(メタ)アクリレートモノマー(B)との溶解度パラメーターの差が-1〜1である。
IPC (2件):
FI (2件):
G03F7/038 501
, G02F1/1339 500
Fターム (21件):
2H025AA04
, 2H025AA13
, 2H025AB14
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BC54
, 2H025BC81
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025BC87
, 2H025BC95
, 2H025BJ07
, 2H025CA00
, 2H089LA09
, 2H089NA14
, 2H089NA15
, 2H089QA14
, 2H089SA17
, 2H089TA06
引用特許:
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (5件)
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