特許
J-GLOBAL ID：200903079710337196
クランプ装置、およびそれを搭載したテーブル位置決め装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
横沢 志郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-372329
公開番号（公開出願番号）：特開2005-131763
出願日： 2003年10月31日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】 移動テーブルの仮クランプ状態を形成することができ、かつ、小型でコンパクトに構成することができるクランプ装置を提案すること。【解決手段】 クランプ装置8は、移動テーブル4に形成され、固定テーブル2の基準平面3に直交する貫通孔41をその軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッド84と、このピストンロッド84における貫通孔41から突出している先端に固定されたワッシャ91と、ピストンロッド84を固定テーブル2の側に向けて常に弾性力によって押している皿バネ86と、この皿バネ86による弾性力に逆らってピストンロッド84を移動させるための力を発生させる圧電素子80とを有している。圧電素子80は、印加する電圧の大きさによって伸縮させることができるので、圧電素子80に印加する電圧を制御することにより、移動テーブル4を移動可能な程度のクランプ力で拘束した仮クランプ状態を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
固定テーブルの表面に形成されている基準平面上を二次元的に移動可能、あるいは基準平面上に回転可能に乗っている移動テーブルを前記固定テーブルにクランプするためのクランプ装置であって、
前記移動テーブルに形成され、前記基準平面に直交する貫通孔をその軸線方向に移動自在な状態で貫通しているピストンロッドと、
該ピストンロッドにおける前記貫通孔から突出している先端に固定されたテーブルクランプ部材と、
前記ピストンロッドを前記固定テーブルの側に向けて常に弾性力によって押している付勢部材と、
該付勢部材による弾性力に逆らって前記ピストンロッドを移動させるための力を発生させる圧電素子とを有していることを特徴とするクランプ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
3C048BC02
, 3C048CC17
, 3C048CC20
, 3C048DD05
, 3C048DD12
, 3C048DD27
, 3C048EE00
, 3J022DA13
, 3J022EA02
, 3J022EB02
, 3J022EC02
, 3J022FB03
, 3J022FB12
, 3J022GB90
出願人引用 (1件)
-
テーブル位置決め装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-297715
出願人：株式会社ハーモニック・ドライブ・システムズ
審査官引用 (3件)
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