特許
J-GLOBAL ID：200903079922679488

熱型赤外線検出素子および赤外線撮像装置

発明者：
大垣 久志

大垣 久志 について

, 
出口 治彦

出口 治彦 について

, 
薦田 智久

薦田 智久 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241645
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054997
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：
【要約】【課題】 赤外線吸収率が高く、それゆえ検出感度が高い熱型赤外線検出素子および赤外線撮像装置を提供する。【解決手段】 熱型赤外線検出素子は、半導体基板7上に所定間隔の空間を形成するように配置されるダイアフラム構造体1を有している。ダイアフラム構造体1は表面に赤外線吸収層として高屈折率膜5を備えているとともに、高屈折率膜5の下層に赤外線反射膜6を備えている。ダイアフラム構造体1は、(1)赤外線反射膜6のシート抵抗が5Ω/□〜60Ω/□の範囲内である、(2)高屈折率膜5の屈折率をnとすると、高屈折率膜5の膜厚が1600/n(nm)〜2560/n(nm)の範囲内である、という2つの条件の少なくとも一方を満たしている。
請求項（抜粋）：
赤外線を吸収する赤外線吸収層と、赤外線を受光するとともに赤外線の吸収による温度上昇に従って抵抗値が変化する熱抵抗変化膜とを備えるダイアフラム構造体を有している熱型赤外線検出素子において、上記ダイアフラム構造体は、赤外線吸収層として、高屈折率膜と、高屈折率膜の下層に形成された赤外線を反射する赤外線反射膜とを備え、上記赤外線反射膜のシート抵抗が、5Ω/□〜60Ω/□の範囲内であることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
IPC (6件)：
G01J 5/48 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33
FI (7件)：
G01J 5/48 F ,  G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 5/02 C ,  H01L 37/02 ,  H04N 5/33 ,  H01L 27/14 K
Fターム (32件)：
2G065AA04 ,  2G065AA11 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BA40 ,  2G065BC13 ,  2G065BC33 ,  2G065BD03 ,  2G065CA13 ,  2G065DA18 ,  2G066BA09 ,  2G066BA60 ,  2G066BC15 ,  2G066BC21 ,  2G066CA02 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CA35 ,  4M118CB13 ,  4M118CB14 ,  4M118EA01 ,  4M118GA10 ,  4M118GD15 ,  5C024AX06 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024EX21 ,  5C024GX08
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM