特許
J-GLOBAL ID：200903079959762326
圧電型三軸加速度センサ
出願人/特許権者：
北陸電気工業株式会社
北陸電気工業株式会社 について
代理人 (1件)： 西浦 ▲嗣▼晴
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309887
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124795
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 信号増幅回路を用いる必要がない、または、用いるとしても各方向の加速度検出信号に応じて増幅度を変える必要がない圧電型三軸加速度センサを提供する。【解決手段】 重錘にX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向にそれぞれ同じ大きさの加速度が作用したときに、出力電極OX〜OZから出力されるX軸加速度検出信号、Y軸加速度検出信号及びZ軸加速度検出信号のレベルが実質的に等しくなるように、一対のY軸加速度検出用電極EY1,EY2に変曲線部8Dを越えて第1の応力発生部8C1から第2の応力発生部8C2上に延びる出力調整用延長電極部EY1b,EY2bをそれぞれ設ける。
請求項（抜粋）：
相互に直交するX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の三軸の加速度をそれぞれ検出するための一対のX軸加速度検出用電極、一対のY軸加速度検出用電極及び複数のZ軸加速度検出用電極、並びに前記X軸加速度検出用電極,前記Y軸加速度検出用電極及び前記Z軸加速度検出用電極に接続線を介してそれぞれ電気的に接続されたX軸出力電極、Y軸出力電極及びZ軸出力電極を表面上に有し且つ裏面上に少なくとも前記各検出用電極と対向する1以上の対向電極を有する圧電セラミックス基板と、表面に前記圧電セラミックス基板の前記裏面が接合されたダイアフラムと、前記ダイアフラムの裏面の中央部に設けられた重錘と、前記重錘に前記加速度が作用したときに前記重錘の周囲にある前記圧電セラミックス基板の部分に撓みが生じるように前記ダイアフラムを支持するべースとを具備し、前記圧電セラミックス基板は、前記重錘と対向する重錘対向領域と、前記ベースと対向するベース対向領域と、前記重錘対向領域と前記ベース対向領域の間に位置する環状の応力発生領域とを有しており、前記応力発生領域は、前記重錘対向領域を囲む環状の第1の応力発生部と、前記第1の応力発生部を囲み前記第1の応力発生部に加わる応力と異なる種類の応力が発生する環状の第2の応力発生部と、前記第1の応力発生部及び前記第2の応力発生部の境界線からなる変曲線部とを有しており、前記X軸加速度検出用電極、前記Y軸加速度検出用電極及び前記Z軸加速度検出用電極の主要部が、前記重錘の変位により生じる前記圧電セラミックス基板の撓みによって発生する自発分極電荷によりX軸加速度検出信号、Y軸加速度検出信号及びZ軸加速度検出信号を前記X軸出力電極、前記Y軸出力電極及び前記Z軸出力電極からそれぞれ出力できるように前記第1の応力発生部上に配置されている圧電型三軸加速度センサにおいて、前記一対のX軸加速度検出用電極,前記一対のY軸加速度検出用電極及び前記複数のZ軸加速度検出用電極の少なくとも一つの電極は、前記重錘に前記X軸方向、前記Y軸方向及び前記Z軸方向にそれぞれ同じ大きさの加速度が作用したときに、前記各出力電極から出力される前記X軸加速度検出信号、前記Y軸加速度検出信号及び前記Z軸加速度検出信号のレベルが実質的に等しくなるように、前記変曲線部を越えて前記第1の応力発生部から前記第2の応力発生部上に延びる出力調整用延長電極部を有していることを特徴とする圧電型三軸加速度センサ。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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