特許
J-GLOBAL ID：200903080000398917

有機無機ハイブリッド薄膜及びその製造方法

発明者：
松原 一郎

松原 一郎 について

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村山 宣光

村山 宣光 について

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申 ウソク

申 ウソク について

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伊豆 典哉

伊豆 典哉 について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-142706
公開番号（公開出願番号）：特開2006-315933
出願日： 2005年05月16日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】シリコン基板上に製膜した、酸化モリブデン(MoO3)を主成分とする導電性の有機無機ハイブリッド薄膜、該薄膜を製造する方法、及びその導電性有機無機ハイブリッド薄膜を利用したセンサ部材等を提供する。【解決手段】金属酸化物単結晶に比べて安価なシリコン基板上に、適切な金属酸化物のバッファー層を介在させて、有機無機ハイブリッド薄膜を形成したことを特徴とする、電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜、その製造方法、該方法により作製された電気伝導性有機無機ハイブリッド薄膜をセンサ素子として用いた、VOCガス等に対して高感度に応答する化学センサ部材。【選択図】図11
請求項（抜粋）：
シリコン単結晶基板と該基板上に金属酸化物からなるバッファー層を介在させて製膜した有機無機ハイブリッド薄膜から成ることを特徴とする有機無機ハイブリッド薄膜。
IPC (5件)：
C30B 29/16 ,  C30B 29/32 ,  C30B 29/68 ,  C30B 31/04 ,  G01N 27/12
FI (5件)：
C30B29/16 ,  C30B29/32 M ,  C30B29/68 ,  C30B31/04 ,  G01N27/12 C
Fターム (24件)：
2G046AA18 ,  2G046AA25 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046EA02 ,  2G046EA04 ,  2G046EA08 ,  2G046FA01 ,  2G046FA04 ,  2G046FB02 ,  2G046FC01 ,  2G046FE18 ,  2G046FE22 ,  2G046FE38 ,  4G077AA03 ,  4G077BB10 ,  4G077DB01 ,  4G077ED06 ,  4G077EF02 ,  4G077FA02 ,  4G077FA08 ,  4G077HA20
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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