特許
J-GLOBAL ID：200903080043435468

熱型赤外線検出素子とその製造方法

発明者：
小田 直樹

小田 直樹 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315985
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163539
出願日： 1996年11月27日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：
【要約】【課題】 複数の赤外線検出素子においても動作温度の変動による信号電圧のドリフトを完全に相殺するため、熱分離構造を有する複数の画素のうち一部の画素に対して赤外吸収率をほぼゼロにした赤外線撮像素子を提供する。【解決手段】 赤外線に対して感度を有する第一の画素領域6と、赤外線に対して感度を有さない第二の画素領域7を有し、前記第一及び第二の画素領域は少なくとも読出回路を有する下層部と、少なくとも絶縁体膜8,11にはさまれた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜10を有する上層部とからなり、前記上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造になっており、かつ絶縁体膜上または絶縁体膜中の電極9により電気的に接続されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子である。
請求項（抜粋）：
赤外線に対して感度を有する第一の画素領域と、赤外線に対して感度を有さない第二の画素領域を有し、前記第一及び第二の画素領域は少なくとも読出回路を有する下層部と、少なくとも絶縁体膜にはさまれた熱-抵抗値変換を行うボロメータ薄膜を有する上層部とからなり、前記上層部と下層部とは真空又は封入ガスにより空間的に隔てられた熱分離構造になっており、かつ絶縁体膜上または絶縁体膜中の電極膜により電気的に接続されていることを特徴とする熱型赤外線検出素子。
IPC (3件)：
H01L 37/00 ,  G01J 1/02 ,  H01L 27/14
FI (3件)：
H01L 37/00 ,  G01J 1/02 C ,  H01L 27/14 K
引用特許：
審査官引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM