特許
J-GLOBAL ID：200903080136582622

ワイヤーグリッド偏光子の製造方法、液晶装置、プロジェクタ

発明者：
澤木 大輔

澤木 大輔 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-200129
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017762
出願日： 2005年07月08日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】 容易かつ効率的に、優れた光学特性を有するワイヤーグリッド偏光子の製造方法等を提供する。 【解決手段】 ワイヤーグリッド偏光子60の製造方法において、基板上に多数の略平行な直線状の金属突起体9aと、金属突起体9aを覆う保護層29aと、を有するワイヤーグリッド偏光子60の製造方法において、金属突起体9a上に保護層29aを斜方成膜しつつ、金属突起体9a同士の間に空洞部9bを形成する。 【選択図】 図5
請求項（抜粋）：
基板上に多数の略平行な直線状の金属突起体と、前記金属突起体を覆う保護層と、を有するワイヤーグリッド偏光子の製造方法において、 前記金属突起体上に前記保護層を斜方成膜しつつ、前記金属突起体同士の間に空洞部を形成する工程を有することを特徴とするワイヤーグリッド偏光子の製造方法。
IPC (4件)：
G02B 5/30 ,  G02F 1/133 ,  G02F 1/134 ,  G02F 1/136
FI (4件)：
G02B5/30 ,  G02F1/1335 510 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1368
Fターム (35件)：
2H049BA02 ,  2H049BA45 ,  2H049BB65 ,  2H049BC22 ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA10Y ,  2H091FA14Y ,  2H091FA37Y ,  2H091FB02 ,  2H091FC04 ,  2H091FC10 ,  2H091FC14 ,  2H091FD08 ,  2H091FD23 ,  2H091LA12 ,  2H091MA07 ,  2H092GA14 ,  2H092GA15 ,  2H092GA16 ,  2H092GA17 ,  2H092HA03 ,  2H092HA05 ,  2H092JA24 ,  2H092JB05 ,  2H092JB06 ,  2H092JB07 ,  2H092KB13 ,  2H092MA04 ,  2H092MA13 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  2H092PA11 ,  2H092RA05
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (1件)

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