特許
J-GLOBAL ID：200903080244325849
静電リレー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-119754
公開番号（公開出願番号）：特開2000-311572
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：
【要約】【課題】 小型であっても応答性に優れ、低い駆動電圧で動作する上、接点間の転移やバウンスの発生を抑制可能な静電リレーを提供する。【解決手段】 固定基板1にキャップ部材3を設けることにより内部空間を封止する。そして、内部空間の内圧を、大気圧よりも小さく、かつ、電子の平均自由行程が接点間距離よりも短くなる値とする。
請求項（抜粋）：
固定電極を有する固定基板に、可動電極を有する可動基板を対向配設し、両電極間に電圧を印加して静電引力を発生させることにより可動基板を駆動し、該可動基板に設けた可動接点を、前記固定基板に設けた固定接点に閉成するようにした静電リレーにおいて、前記固定基板にキャップ部材を設けることにより封止した内部空間の内圧を大気庄よりも小さく、かつ、電子の平均自由行程が接点間距離よりも短くなる値としたことを特徴とする静電リレー。
引用特許：
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