特許
J-GLOBAL ID：200903080270914127

平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置

発明者：
藤田 博之

藤田 博之 について

, 
飯塚 哲彦

飯塚 哲彦 について


出願人/特許権者：
三浦 秀巳

三浦 秀巳 について


代理人 (1件)： 福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163478
公開番号（公開出願番号）：特開2002-359980
出願日： 2001年05月30日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 ノイズの発生が従来よりも著しく少なく、また、耐久性、信頼性に優れた平行平板型静電アクチュエータ、ヘッドスライダ、ヘッド組立体及び磁気ディスク装置を提供すること。【解決手段】 並行な電極(1a,1b,1c,:2a,2b,2c,2d)がギャップを挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップが非導電性物質3a,3bでカバーされていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも1対の並行な電極がギャップを挟み配置され、電極間に電圧を加えることによりギャップが伸縮する平行平板型静電アクチュエータにおいて、ギャップがフィルム状の非導電性物質でカバーされていることを特徴とする平行平板型静電アクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 1/00 ,  G11B 5/596 ,  G11B 21/10 ,  G11B 21/21
FI (4件)：
H02N 1/00 ,  G11B 5/596 ,  G11B 21/10 N ,  G11B 21/21 D
Fターム (8件)：
5D042LA01 ,  5D042MA15 ,  5D059AA01 ,  5D059BA01 ,  5D059CA18 ,  5D059DA19 ,  5D059EA02 ,  5D096NN07
引用特許：
審査官引用 (6件)
  • 特開平4-368479
  • 直動装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-034332   出願人：日本精工株式会社
  • 静電アクチュエータとその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-150851   出願人：株式会社日立製作所
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