クライオポンプ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：大槻清壽 , 加藤正信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-286569
公開番号（公開出願番号）：特開2005-054689
出願日： 2003年08月05日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】クライオポンプを大型化することなく、水素やヘリウム等を確実かつ効率よく吸着できる排気能力の高いクライオポンプを提供する。【解決手段】冷却パネル8に活性炭を貼付した超低温冷凍機1を備えたクライオポンプにおいて、前記冷却パネル8に貼付される活性炭9として、熱伝導率0.01w/cmK程度以上の活性炭を採用した。また、前記活性炭を、超低温下において強度があり、かつ、熱伝導率の高い接着剤を用いて前記冷却パネル8に接着した【選択図】図1

請求項（抜粋）：

冷却パネルに活性炭を貼付したクライオポンプにおいて、前記冷却パネルに貼付される活性炭が、熱伝導率0.01w/cmK程度以上の活性炭であることを特徴とするクライオポンプ。

IPC (1件)：

F04B37/08

FI (1件)：

F04B37/08

Fターム (5件)：

3H076AA25 , 3H076BB21 , 3H076BB38 , 3H076CC54 , 3H076CC55

引用特許：

出願人引用 (2件)

多段式クライオポンプおよび多段式クライオポンプの吸着面の再生方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-126450 出願人：住友重機械工業株式会社
クライオポンプの吸着剤貼着コールドパネルおよびコールドパネルへの吸着剤貼着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-041790 出願人：関西熱化学株式会社

審査官引用 (4件)

クライオポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-209703 出願人：住友重機械工業株式会社
熱伝導性活性炭物質およびガス処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-084832 出願人：株式会社ヒロベ
活性炭吸着装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-188128 出願人：日本鋼管株式会社

全件表示

前のページに戻る