多層反射防止膜

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-326502
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141904
出願日： 1999年11月17日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】例えば蛍光顕微鏡の対物レンズのレンズ部品用のように、紫外域から800nm近くの可視域の上限波長まで低反射性であり、且つ光吸収率が低く、尚且つ膜から発生する蛍光強度が小さい多層反射防止膜を提供することである。【解決手段】本発明の多層反射防止膜は、層数が6層以上11層以下であり、第1層の屈折率が1.6以上2.15以下(435nm)で、且つ必要に応じてLa2 Ti2 O7-x (x=0.3〜0.7)から成る層を用い、最終層がフッ化マグネシウムから成り、且つ300nm以上800nm以下の波長域に於ける透過率が80%以上である。

請求項（抜粋）：

基板上に形成される6層以上11層以下の多層反射防止膜であり、前記基板面から順に第1層の屈折率が1.6以上2.15以下(波長500nm)であり、最終層がフッ化マグネシウムから成り、且つ300nm以上800nm以下の波長域の全ての波長での透過率が80%以上であることを特徴とする多層反射防止膜。

Fターム (7件)：

2K009AA09 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009CC06 , 2K009DD03 , 2K009DD04 , 2K009DD07

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭60-130701
特開昭62-272202
反射防止膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-173454 出願人：株式会社ニコン

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