微細中空構造体ダイアフラムおよびその応用素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須山佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-304912
公開番号（公開出願番号）：特開2007-113654
出願日： 2005年10月19日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：

【課題】構造を複雑にすることなく、大きな変位量を発生させることができるダイアフラムを提供し、このダイアフラムを用いて、大きな変位量を有するマイクロアクチュエータなどの素子を構成できるようにする。【解決手段】微小ダイアフラムの可撓部を微細中空構造体形状にすることにより、大きなたわみを発生させ、大きな変位量を得る。この微細中空構造体の形状を円環状にすることや、中央の微細中空構造体とこの中央の微細中空構造体を囲む円環状の微細中空構造体からなる微細二重中空構造体形状にすることにより、微小ダイアフラムの変位量を高めることができる。こうした上記微細中空構造体形状の可撓部を金属ガラスの膜で構成することにより、弾性変形範囲を大きくすることができ、しかも工程をあまり複雑にすることなく、製造することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に微細中空構造体形状の可撓部を形成してなることを特徴とする微小ダイアフラム。

IPC (4件)：

F16J 3/02 , B81B 3/00 , F16F 1/32 , F15B 15/10

FI (4件)：

F16J3/02 B , B81B3/00 , F16F1/32 , F15B15/10 Z

Fターム (34件)：

3H075AA01 , 3H075BB04 , 3H075CC32 , 3H075CC33 , 3H075CC34 , 3H075DA01 , 3H075DB42 , 3H077AA00 , 3H077CC02 , 3H077CC09 , 3H077DD13 , 3H077EE34 , 3H077EE35 , 3H077EE36 , 3H077FF01 , 3H077FF06 , 3H077FF45 , 3H081AA15 , 3H081BB01 , 3H081CC25 , 3H081CC29 , 3H081DD06 , 3H081FF17 , 3H081FF48 , 3H081HH10 , 3J045AA06 , 3J045BA05 , 3J045CA05 , 3J059AA10 , 3J059BA21 , 3J059BB01 , 3J059BC20 , 3J059BD01 , 3J059GA21

引用特許：

出願人引用 (1件)

マイクロポンプ及びマイクロバルブの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-150306 出願人：セイコーエプソン株式会社

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