特許

J-GLOBAL ID：200903080725816960

基板検査用治具および基板検査治具の製造方法

発明者： 宮武 忠数 ,  加藤 穣
出願人/特許権者： 日本電産リード株式会社
代理人 (1件)： 北村 秀明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-209472
公開番号（公開出願番号）：特開2008-032666
出願日： 2006年08月01日
公開日（公表日）： 2008年02月14日
要約：

【課題】 検査用プローブを簡便に装着することのできる基板検査用治具の製造方法の提供。【解決手段】 検査用プローブを検査側支持体及び電極側支持体を有する基板検査治具を製造する方法において、検査側支持体と電極側支持体との間の中間位置に、検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある中間板の案内孔と、電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させそれら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、中間板を移動して検査側支持体に接触させ、電極側支持体を、直線に対して直交する方向にずらし、検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

先端が被検査基板の検査点に接触する検査端部と、基板を検査する基板検査装置の検査制御部に接続される電極部に接触する電極端部と、それら両端部を連結する弾性力を有する線状部とからなる検査用プローブを、所定の間隔を有して配置された検査側支持体及び電極側支持体に支持して基板検査治具を製造する方法において、 前記検査側支持体と前記電極側支持体との間の中間位置に、前記検査用プローブの線状部を案内する案内孔を有する中間板を配し、 前記検査側支持体における検査用プローブの検査端部を所望検査点に向けて案内する検査端部案内孔と、中間位置にある前記中間板の案内孔と、前記電極側支持体における検査用プローブの電極端部を所望電極に向けて案内する電極端部案内孔とを一直線上に整合させ、 それら整合した各案内孔に検査用プローブを挿通し、 前記中間板を移動して検査側支持体に接触させ、 前記電極側支持体を、前記直線に対して直交する方向にずらし、前記検査用プローブを傾斜した状態で保持するようにしたことを特徴とする基板検査用治具の製造方法。

IPC (2件)：

G01R 1/06 ,  H05K 3/00

FI (2件)：

G01R1/06 D ,  H05K3/00 T

Fターム (12件)：

2G011AA02 ,  2G011AA16 ,  2G011AB01 ,  2G011AB07 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AE01 ,  2G011AF07 ,  2G014AA01 ,  2G014AB59 ,  2G014AC10

引用特許：

出願人引用 (2件)

• モンテカルロシミュレーションを用いたEPMA分析法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-200737   出願人：日本軽金属株式会社
• 半導体レーザおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-166933   出願人：住友電気工業株式会社

審査官引用 (1件)

• 電気的接続装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-305628   出願人：株式会社日本マイクロニクス