特許
J-GLOBAL ID:200903081747360290
半導体レーザおよびその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
, 柴田 昌聰
, 近藤 伊知良
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-166933
公開番号(公開出願番号):特開2005-005468
出願日: 2003年06月11日
公開日(公表日): 2005年01月06日
要約:
【課題】半導体レーザおよびその製造方法において、電流-光変換効率の各ロット間のばらつきを解消する。【解決手段】InP基板1上に順に設けられたInPバッファ層2、活性層3およびInPクラッド層4を有するメサ部8と、メサ部8の側面およびInP基板1上に設けられたp型InPブロック層10と、第1の領域S1、第1の領域S1とメサ部8との間に設けられた第2の領域S2および第1の領域S1と第2の領域S2との間に設けられた段差9a含みp型InPブロック層10上に設けられたn型InPブロック層11とを有する埋込ブロック部12とを設けて、半導体レーザ20とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
第1導電型の半導体基板上に順に設けられた第1導電型の半導体層、活性層および第2導電型の半導体層を有するメサ部と、
前記メサ部の側面および前記半導体基板上に設けられた第2導電型の第1の半導体ブロック層と、該第1の半導体ブロック層に接していない第1の領域、該第1の領域と前記メサ部との間に設けられた第2の領域および該第1の領域と前記第2の領域との間に設けられた段差を含み前記第1の半導体ブロック層上に設けられた第1導電型の第2の半導体ブロック層とを有する埋込ブロック部と
を設けたことを特徴とする半導体レーザ。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (10件):
5F073AA03
, 5F073AA21
, 5F073AA72
, 5F073CA12
, 5F073CB02
, 5F073CB11
, 5F073CB14
, 5F073DA05
, 5F073DA23
, 5F073EA29
引用特許:
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