ポジ型感光性樹脂組成物、ポジ型感光性樹脂組成物の製造方法及び半導体装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-312165
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202593
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ硬化後の皮膜特性として優れた機械特性、接着性、吸水性を有する高感度のポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部とフィラー(C)からなり、下記式で表されるフィラー(C)の含有量Fが2〜70重量%であるポジ型感光性樹脂組成物である。F=フィラー(C)/(アルカリ可溶性樹脂+フィラー(C))

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂100重量部と感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜100重量部とフィラー(C)からなり、下記式で表されるフィラー(C)の含有量Fが2〜70重量%であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。F=フィラー(C)/(アルカリ可溶性樹脂+フィラー(C))

IPC (7件)：

G03F 7/023 , C08G 69/26 , C08G 69/40 , C08G 69/42 , G03F 7/037 , H01L 21/027 , H01L 21/312

FI (7件)：

G03F 7/023 , C08G 69/26 , C08G 69/40 , C08G 69/42 , G03F 7/037 , H01L 21/312 D , H01L 21/30 502 R

Fターム (61件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA13 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB15 , 2H025CC06 , 2H025CC08 , 2H025FA17 , 4J001DA01 , 4J001DB01 , 4J001DB04 , 4J001DC05 , 4J001DC08 , 4J001DC14 , 4J001DD01 , 4J001DD04 , 4J001DD05 , 4J001EB25 , 4J001EB28 , 4J001EB35 , 4J001EB36 , 4J001EB37 , 4J001EB56 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB59 , 4J001EB60 , 4J001EC23 , 4J001EC28 , 4J001EC33 , 4J001EC36 , 4J001EC38 , 4J001EC44 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC68 , 4J001EC69 , 4J001EC70 , 4J001EE08E , 4J001EE14E , 4J001EE18E , 4J001EE35E , 4J001EE72E , 4J001FA01 , 4J001FB03 , 4J001FC03 , 4J001JA07 , 4J001JB34 , 4J001JC08 , 5F058AA10 , 5F058AC03 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AH02 , 5F058AH03

引用特許：

審査官引用 (7件)

感光性樹脂組成物およびパターン形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-126201 出願人：株式会社関西新技術研究所
特開昭56-060432
感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-285430 出願人：コニカ株式会社

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